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304不锈钢光圆质量差异不是很大

作者:admin 来源: 日期:2020/6/19 10:29:44 人气:
导读:750°C时,涂层和未涂层样品的质量差异不是很大,主要是因为304不锈钢光圆本身具有更高的氧化温度。图中所示的两个温度在850℃和950℃以及氧化时间延长。在具有温度和时间的样品的氧化曲线中可以看出,涂覆样品的抗氧…
750°C时,涂层和未涂层样品的质量差异不是很大,主要是因为304不锈钢光圆本身具有更高的氧化温度。图中所示的两个温度在850℃和950℃以及氧化时间延长。在具有温度和时间的样品的氧化曲线中可以看出,涂覆样品的抗氧化性显着优于未涂覆样品的抗氧化性。两种样品的氧化过程均显示出混合动力学,具有线性和非线性变化。也就是说,在初始氧化过程中,随着氧化时间的延长,样品的氧化更严重,氧化程度迅速增加; 30小时后,氧化趋于稳定,这与氧化时间基本上是线性的。 在950℃下氧化1小时后,横截面照片显示离子涂层保持相对稳定,并且在膜层和基板之间存在6μm厚的过渡层,这主要是由于基材和涂层的一些元素。相互扩散引起,母亲自己没有发现热裂纹,304不锈钢光圆底座受到保护。未涂覆的样品中存在微裂纹,并且基质的氧化很严重。基本光谱的测量发现基体中的合金元素在高温下严重损失   

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